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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
西班牙Sensofar白光干涉儀S neox產(chǎn)品介紹
西班牙Sensofar白光干涉儀S neox產(chǎn)品介紹Sensofar 的四合一測量技術(shù)堪稱 S neox 的一大核心亮點(diǎn)。在其傳感器頭中,巧妙集成了干涉、共聚焦、Ai 多焦面疊加和膜厚測量等多種*測量技術(shù)。只需輕松點(diǎn)擊一次,系統(tǒng)便能依據(jù)當(dāng)前測量任務(wù)的具體需求,自動智能地切換到最為適配的優(yōu)良技術(shù)。
產(chǎn)品分類
當(dāng)集成電路的線寬逼近物理極限、當(dāng)仿生材料需要解析微米級孔隙結(jié)構(gòu)、當(dāng)精密光學(xué)元件表面要求原子級平整度——這些領(lǐng)域的突破,都始于對物質(zhì)表面認(rèn)知。Sensofar S neox三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀,正以性的測量哲學(xué),成為打開微觀世界大門的。
跨越維度的測量革命
傳統(tǒng)測量設(shè)備受限于單一技術(shù)原理,如同盲人摸象:
? 接觸式探針會損傷軟性材料
? 激光共焦難以應(yīng)對高反射表面
? 普通白光干涉儀受困于振動干擾
S neox的劃時代突破在于構(gòu)建了四維協(xié)同測量矩陣:
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| 技術(shù)模式 | 適用場景 | 突破性能力 |
|----------------|-------------------------|-------------------------|
| 動態(tài)共焦掃描 | 陡坡/多孔材料 (如骨植入物) | 86°傾角穩(wěn)定成像 |
| 白光干涉場重建 | 亞納米級超光滑表面 | 抗振動技術(shù) |
| 相移干涉解析 | 薄膜厚度測量 | 0.1nm縱向分辨率 |
| Ai智能景深融合 | 毫米級粗糙度樣品 | 單次掃描深度達(dá)8mm |
這種技術(shù)聚合不是簡單疊加,而是通過自適應(yīng)光學(xué)引擎,根據(jù)表面特性自動優(yōu)化光源波長、入射角度及算法內(nèi)核,實(shí)現(xiàn)測量模式的智能切換。
重新定義精密測量的邊界
納米級動態(tài)追蹤能力
搭載量子點(diǎn)增強(qiáng)型CMOS傳感器,在180幀/秒高速采集下仍保持0.12μm橫向分辨率。對半導(dǎo)體晶圓缺陷的捕捉精度,相當(dāng)于在足球場上識別一粒病毒。
振動免疫黑科技
采用實(shí)時環(huán)境補(bǔ)償算法(REC) ,在普通實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下(振動幅度>100nm)仍可穩(wěn)定輸出數(shù)據(jù),攻克了傳統(tǒng)干涉儀必須依賴光學(xué)平臺的行業(yè)痛點(diǎn)。
多物理場同步解析
三波長干涉技術(shù),單次掃描即可同步獲?。?/p>
? 表面三維形貌(精度1nm)
? 膜厚分布(0.1nm分辨率)
? 材料折射率分布
? 真色彩光學(xué)特征
破解工業(yè)與科研的測量困局
案例1:芯片封裝失效分析
某存儲芯片出現(xiàn)分層缺陷,傳統(tǒng)SEM無法檢測亞表面損傷。S neox通過相移干涉模式,在非破壞條件下清晰呈現(xiàn)20μm焊球下方的微裂紋,定位精度達(dá)0.5μm。
案例2:人工角膜表面優(yōu)化
某生物材料企業(yè)利用共焦動態(tài)掃描,獲得水凝膠材料在濕潤狀態(tài)下的真實(shí)三維形貌,發(fā)現(xiàn)干燥測量導(dǎo)致的3.2μm形變誤差,推動工藝革新。
案例3:航空發(fā)動機(jī)葉片檢測
對噴砂處理的鈦合金葉片,Ai景深融合模式僅用42秒完成15×15mm區(qū)域掃描,精準(zhǔn)量化Ra=8.3μm的粗糙度參數(shù),效率提升20倍。
智能測量生態(tài)體系
SensoAI云智庫
集成200+種材料數(shù)據(jù)庫,用戶上傳樣品圖像即可智能推薦:
? 測量模式組合
? 鏡頭參數(shù)配置方案
? 特征分析算法包
數(shù)字孿生校準(zhǔn)系統(tǒng)
每個測量結(jié)果自動關(guān)聯(lián):
? 環(huán)境溫濕度記錄
? 設(shè)備校準(zhǔn)溯源鏈
? 操作者電子簽名
確保數(shù)據(jù)滿足ISO 17025實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證要求
跨尺度多模塊聯(lián)動
可選配:
? 12英寸自動晶圓臺
? 高溫原位測量艙(最高800℃)
? 活細(xì)胞培養(yǎng)觀測系統(tǒng)
形成從納米到米級的完整測量閉環(huán)
在哈佛大學(xué)材料實(shí)驗(yàn)室,S neox正解析著量子點(diǎn)薄膜的原子級堆疊;在特斯拉超級工廠,它每分鐘完成30個電池極片的涂層厚度檢測;在眼科研究所,它揭示著人工視網(wǎng)膜表面的微流體通道——這臺不足辦公桌大小的設(shè)備,已成為微觀世界的通用語言。
Sensofar S neox的價值不在測量本身,而在于將不可見轉(zhuǎn)化為可量化,將經(jīng)驗(yàn)判斷升維至數(shù)據(jù)決策。 當(dāng)制造業(yè)步入納米精度時代,擁有全域感知能力的測量系統(tǒng),就是掌控質(zhì)量話語權(quán)的核心密鑰。
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